Gli ingegneri industriali Frank e Lillian Gilbreth hanno introdotto per la prima volta il concetto di diagrammi di flusso all'American Society of Mechanical Engineers (ASME) nel 1921 con il loro Flow Process Chart. La loro presentazione, intitolata Process Charts: First Steps in Finding the One Best Way to Do Work, ha gettato le basi per il ruolo dei diagrammi di flusso nell'ottimizzazione del workflow.
Nel corso degli anni '30 e '40, altri ingegneri hanno ulteriormente affinato il concetto di diagramma di flusso e ne hanno migliorato l'efficacia come strumento. Nel 1947, l'ASME ha rilasciato un set standardizzato di simboli comuni per diagrammi di flusso basati sul lavoro originale dei Gilbreth.
Gli anni '90 hanno visto l'arrivo dei diagrammi di attività Unified Modeling Language (UML), vale a dire diagrammi di flusso digitali creati con un software specializzato per diagrammi di flusso basato su UML. L'UML è stato creato negli anni '90 per standardizzare i simboli comuni dei diagrammi di flusso.
Nel 2005, la Business Process Management Initiative (BPMI) ha codificato il concetto di modellazione e notazione dei processi aziendali (BPMN). Questo linguaggio di modellazione comune rappresenta visivamente i processi aziendali per eliminare le ambiguità delle descrizioni testuali. Oggi, i produttori di diagrammi di flusso online come Lucidchart e Miro sono ampiamente disponibili e includono modelli di diagrammi di flusso per semplificare il processo di creazione.