IBM SiView Standard

MM은 400개 이상의 풍부한 비즈니스 로직 요소를 내장하고 있어 웨이퍼, 로트, FOUP, 장비 관련 객체를 관리하며, WIP, 제품, 작업, 프로세스를 실시간으로 제어하고 추적할 수 있습니다. 완전 오프라인 모드와 수동 모드부터 완전 자동화된 대량 생산까지 16가지 운영 모드를 지원합니다. 

SaR을 사용하면 사용자가 기존 시스템(예: MM)에서 비즈니스 이벤트를 감지하는 워크플로를 생성하고, 비즈니스 규칙을 실행하며, 공장 리소스에 실시간으로 대응해 제조 활용도와 효율성을 높일 수 있습니다. 

APC를 사용하면 엔지니어링, 과학 및 경제 분야의 전문가가 프로세스 제어 모델을 빠르고 효과적으로 다룰 수 있으며, MM/DCS와 사전 통합되어 있고, 비즈니스 로직 구현을 위한 Java/BPEL을 지원하며, 외부에서 개발한 수학 모델(예: MATLAB)을 라이브러리로 적용할 수 있습니다. 

HAS는 CorbaServer 프로세스(예: MM 서버)의 클러스터링을 지원하고, 프로세스 오류를 자동으로 감지·복구하며, 확장의 유연성을 제공합니다. HAS 구성에서는 수정 및 개선을 위한 애플리케이션 변경 사항을 프로덕션 활동에 영향을 주지 않고 적용할 수 있습니다.

tMSP는 제조 툴 제어 애플리케이션을 위한 SiView Standard 제품으로, 장비와 MES 간의 통신을 제어합니다. 이벤트 중심, 서비스 지향, 다중 스레드 논리 엔진에서 실행되며 플러그인을 사용하여 비즈니스 논리를 지원하며, 많은 일반적인 통신 프로토콜을 지원하는 즉시 사용 가능한 모듈 모음을 제공합니다.

PDS는 반도체 공장에서 진행 중인 로트의 이동 내역, 도구 활용도, 상태 스냅샷을 예측하는 이산 이벤트 시뮬레이터입니다. 즉시 사용 가능한 고속 시뮬레이션 기능을 통해 용량 계획, WIP 밸런싱, 처리량 증가, 리드타임 단축 등 공장 운영의 지속적인 개선을 위한 의사 결정에 필요한 정보를 제공합니다.

RTD는 SiView MES와 사전 통합되어 있으며, 끊임없이 변화하는 공장 환경에 대응하여 지능형 의사 결정 기능을 제공합니다. 브라우저 기반의 드래그 앤 드롭 규칙 편집기를 통해 제공되는 RTD를 사용하면 프로그래밍 기술이 거의 없어도 비즈니스/운영 규칙을 만들고 정의할 수 있습니다.

 SPC는 공정 장비 데이터 추세에 대한 실시간 모니터링을 통해 결함 발생을 예측하고 수율을 개선하는 데 도움을 줍니다.

SM은 작업을 작성하고 정의할 수 있는 빌드 타임 사양 관리 기능을 제공합니다. SEMATECH CIM Framework를 기반으로, 유연한 버전 제어, 액세스 제어, 아카이브 솔루션을 통해 반도체 제조 시나리오를 생성하고 정의할 수 있는 70개 이상의 클래스를 지원합니다.

XM(FOUP 이송) 및 RXM(레티클 이송)은 제조 현장에서 FOUP 및 레티클 이송을 관리할 수 있는 MTSC 인터페이스를 제공합니다. 또 SEMI 장비 통신 표준(SECS), 고속 SECS 메시지 서비스(HSMS), 제조 장비 통신 및 제어를 위한 일반 모델(GEM)을 지원합니다.