SECS・GEMで定める用語や通信の仕組みについて理解していただくことにより、通信インターフェース構築および通信テストに必要な通信仕様設計・作成・評価、打合せ、開発、テスト、運用など一連の作業を円滑に進めるための基礎知識を固めます。
各規格の説明だけではなく、半導体製造装置メーカーおよびデバイスメーカーにとって、どの部分（規格）をどれだけ満足すれば良いのかなどのコンサルティングも行います。

資料
・基本トレーニング資料
・SEMI Standards（SEMIジャパン発行。お客さまにてご用意ください。）

トレーニング内容（2日間）：2日間連続が原則

1日目 SECS-I、IIトレーニング
半導体製造装置とHOSTとの通信プロトコルであるSECS-I、II、HSMSを理解するためのトレーニングです。

• SECSの概要
• 専門用語の説明
• 物理的な接続規約
• 通信プロトコルの説明
• 通信情報（ログ）の解析方法の説明
• 一般的な通信シーケンスについて
• その他全体を通した重要部分のコンサルティング

2日目 GEMトレーニング
GEM規格をご理解するためのトレーニングです。

• GEMの概要
• GEM規格の目的の説明
• GEM規格の範囲の説明
• 基本条件、追加性能条件の詳細説明
• その他全体を通した重要部分のコンサルティング

装置インターフェース仕様書をSECS・GEMに準拠した形で作成することを目的としています。仕様書作成にあたって、GEM準拠装置通信仕様書テンプレート（DOC-W-004）をもとに、記述するべき内容や作成上の注意点などをトレーニングします。終了後、お客さまが作成したインターフェース仕様書の内容を確認の上、コンサルティングをご提供いたします。
なお、本トレーニングにはGEM準拠装置通信仕様書テンプレート（DOC-W-004）が必要となります。

資料
・PEER Group社作成の「 GEM準拠装置通信仕様書テンプレート（DOC-W-004）」

トレーニング・コンサルティング内容

トレーニング内容（半日間）

• GEM準拠装置通信仕様書テンプレートの章構成の説明
• GEM準拠表の説明
• モデル化についての説明
• シナリオについての説明
• メッセージフォーマットについての説明
• 各種情報管理（SV、DV、EC、EVENT、ALARM）についての説明
• GEM準拠装置通信仕様書テンプレート内で修正する部分 （貴社装置の特性を述べる部分）についての説明
• その他GEM準拠装置通信仕様書テンプレートに盛り込むことが慣例となっている項目の説明
  

コンサルティング内容

トレーニング終了後、まずお客さまにて仕様書を作成していただき、送付いただきます。主に以下の事項を中心に、仕様書の内容確認を行い、報告書を提出します。 

• モデル化の妥当性
• シナリオの妥当性
• GEM準拠表の妥当性
•  使用メッセージの妥当性
• 各種情報管理（SV、DV、EC、EVENT、ALARM）の妥当性
• 仕様書に盛り込むことが必要である項目の記述もれなどの確認
  

GWGEM^®・SDR™を使用して、装置インターフェースプログラムを作成するために、GWGEM・SDRの使用方法を理解いただくことを目的としています。また、本トレーニングは開発を開始する前に2回に分けて実施します。第1回目はGWGEM・SDR概要トレーニング、第2回目はGWGEM・SDR開発トレーニングです。
なお、本トレーニングにはGWGEM・SDRが必要となります。

資料
・GWGEM・SDR概要トレーニング資料
・GWGEM・SDR開発トレーニング資料

トレーニング内容（2日間）
GWGEM・SDRが用意している関数の使用方法やインストールなどの、プログラム開発担当者向けのトレーニングです。

1日目 SDR、GWGEM概要説明

• ソフトウェア構造について
• GWGEM・SDRがサポートしている機能の説明
• ランタイム環境について
• 開発環境について
• ユーザ作成プロセスについて
• 拡張部分の開発方法について
• 開発が必要な部分の説明
• GCDファイル作成の概要説明

2日目 SDR、GWGEM詳細説明

• GCDファイルの定義方法の説明
• GWGEM・SDRの関数説明
• インストール方法の説明
• インストール実習
• コンフィデンステスト
• 各種ログファイルの説明
• SECSパラメーターの与え方

通信仕様書(ひな型)のご提供と共に、弊社スタッフが仕様書作成のコンサルティングを行います。

通信仕様書（ひな型）について

• Microsoft® Wordで記述された文書ファイルなので、すぐに編集をはじめることができます。
• GEMの各状態モデルやSECSのメッセージフォーマットが全て記述されていますので短期間で間違いのない判り易い仕様書を作成することができます。
• 文書中の図は、画像形式で提供されます。
• 文書は英文となります。また参考資料として日本語訳も提供します。
• 300mm関連スタンダードの仕様書作成支援サービス（オプション）も用意しています。
  
  

コンサルティングについて

• ひな形の通信仕様書に対して、どのような追加・編集を行うべきかを説明します。
• お客様が作成した通信仕様書をレビューし、E30 GEM規格に準じているか確認します。

半導体製造装置に求められる機能の一つとして、工場ホストとのSEMI規格準拠通信インターフェースの実装がありますが、装置の動作に伴うSECS通信メッセージの送受信タイミングや、それら送信データの整合性といった、工場での実運用に即したSECS通信シナリオに対応することが求められています。

PFATは従来のCCS Envoy™テストソフトウェアに無かった、実運用ベースのSECS通信シナリオをテストできます。テストのための設定をしてしまえばSEMIスタンダードの専門的な知識が少なくとも、マルチチャンバー装置や複数ロット仕掛り時の通信テストなど、複雑なテストを効率的に実行できます。

PFATを使用することで、装置出荷時のSECS通信インターフェースのテストや、SECS通信仕様の変更時におけるデグレーション・テスト、実運用に即した複雑な総合通信テストを合理的・効率的に実施でき、またテスト結果が担当者のスキルに左右される懸念を低減できます。PFATは従来のCCS Envoy™テストソフトウェアに無かった、実運用ベースのSECS通信シナリオをテストできます。

テストのための設定をしてしまえばSEMIスタンダードの専門的な知識が少なくともマルチチャンバー装置や複数ロット仕掛り時の通信テストなど、複雑なテストを効率的にテストすることができます。以下は実現できるテストの例です。

• 実運用に即した出荷テスト
  正常ケースのテストはもとより、実運用に即したシナリオのテスト
  ・複数キャリア同時処理時のシナリオ
  ・装置の起動・停止、障害発生時のリカバリなどの非定常シナリオ
  
  
• ディグレーション・テスト
  オンライン機能追加・変更時のディグレーションテストを効率的に実施
  ・既存機能のディグレード確認をすばやく合理的に実行
  ・追加・変更した部分のテスト項目も、もちろんテスト可能
  
  
• SECSアイテム値の妥当性チェック
  各SECSアイテムのフォーマットから値に至る詳細情報を自動的に評価
  ・テスト結果の確認に要する時間を低減
  ・StreamFunction番号のみ、SECSフォーマットのみのテストもOK
  
  
• テスト担当のスキルに左右されない安定的なテスト
  目視確認などによるテスト結果評価と比べ安定的な評価
  ・オンライン通信に関するスキルやノウハウを必要とせずテストを実行
  ・優れたエンジニアを退屈なテスト

• グラフィカルインターフェースによるテストの定義と実行
  テストシナリオの設定画面や実行画面では、フローチャートライクなビジュアルユーザインターフェースを採用しています。
  テスト設定の定義では、テスト部品をドラッグ&ドロップすることで、テストシナリオの構築、組み換え、繰り返し処理などが容易に行えるほか、テスト実行時はテスト進捗状況がビジュアルかつリアルタイムに表示されます。
  
  
• フローチャートテスト設定・定義の詳細
  テストシナリオはフローチャートを書くイメージで直感的に設定が可能です。また一般的なプログラミング言語のサブルーチンのようなイメージで、ある一定のシナリオを部品化し流用することができます。
  また、処理Aの次は処理B、といった単純なシナリオから、条件分岐、複数条件の同期処理、リピート処理といった複雑なシナリオを設定できます。
  
  
• テストレポート機能
  テストの実施結果は自動的に保存され、レポートとして参照が可能です。過去に実施したテストレポートも日付指定で容易に呼び出し参照が可能です。
  通信ログはSECS規格-E5のSECSアイテムディクショナリで定義されたアイテム名が注釈としてログ上に表示され、複雑なSECSメッセージの各アイテムを容易に判別できます。
  
  
• システム構成
  PFATをインストールしたPCを、テスト対象装置とEthernet（HSMS-SSとSECS-IIの場合）、あるいはRS-232C（SECS-IとSECS-IIの場合）にて接続し使用します。
  PFATはテスト結果の判定を、その内部処理で実現する方法と、外部プログラムなどの呼び出しを行い、テスト結果を判定する方法のいずれも対応しています。これにより、例えばロードポートの状態を把握している外部システムのステータスを取得し、通信上メッセージだけでは成否が判断できないテストも可能です。

PFATの導入により、半導体製造装置のSECS通信インターフェーステストに関する効率化、合理化を実現し、これらによりコスト削減や顧客満足度の向上に寄与します。

通信システムのテスト工数削減

• SECSメッセージのStreamFunction番号から、SECSアイテムフォーマット、各アイテムの値やレングスのチェックに至るテストを自動的に実行することができます。これにより、通信テスト実行後の膨大なメッセージログの目視確認作業を必要としません。
• 通信シナリオや期待値をグラフィカルユーザインターフェースを通じて直感的に設定できるよう設計されているため、SSL言語といったプログラミングの知識を要することなく短期間にテストの設定を行うことができ、これによりテスト環境の構築に要する時間とコストを削減できます。
• 異常ケースなどのテストも、事前に設定しておくことで自動的にテストできます。
• テスト結果レポート機能により、どの部分でどのような不具合が発生したか容易に判別できるため、テスト後の不具合部分の特定にかかる時間を削減できます。
• テストの流れを区切ってサブルーチン化、部品化することで、テスト部品が流用でき、これによりテスト設定工数の削減に寄与します。
• テストシナリオの組み換えや、ピンポイント指定の繰り返しテストを行うことができます。

ディグレーション・テストの効率UP

• 標準シナリオをあらかじめ定義しておくことで、機能追加や仕様変更時における、既存機能のディグレーションテストを短期間に行うことができます。
• 特定部分のシナリオを繰り返し実行するリピート機能の活用により、ロングランテストやラッシュテストを容易に行うことができます。

通信システムの品質向上

• テストの結果は期待値の定義に基づきPFATが自動判定するため、テスト担当者のスキルやノウハウに左右されることなく、安定的で中立的なテストを実現できます。
• SEMIスタンダード対応テストだけでなく、装置固有の運用シナリオ、各社ICメーカの運用シナリオのテストを実施できます。
• マルチチャンバー装置や複数キャリアの仕掛りテストなど、SEMI通信スタンダードのテストだけではカバーできない、より実運用に即した通信テストができます。

あらゆる半導体・液晶製造ラインのSECS通信に対応
SECSIM Pro+には主に旧来の200mmウェハの半導体製造ラインで採用されているSECS-I（RS-232）、及び300mmもしくは先進の450mmウェハを取り扱う半導体製造ラインで採用されているHSMS-SS（TCP／IP）両方のインターフェースが用意されています。
これらのインターフェースにより、ホストインターフェースや装置インターフェースとして使用することが可能で、装置サプライヤのみならず、半導体製造ラインでも多くの導入実績を持つソフトウェアです。

インストール後、すぐに使用出来る直感的なユーザインターフェース
SEMI-E5のSECSメッセージフォーマットが標準で用意されており、インストール後すぐに使用することができます。SECSIM Pro+が受信したSECSメッセージは自動応答機能で自動的に通信シナリオを進めるか、もしくはスクリプト言語の設定により連続した複雑な通信シナリオを実行できます。

• SECSメッセージは直感的に理解しやすいSMLフォーマットで定義。1クリックで送信可能
• 通信ログもSMLフォーマットで出力されるため、通信内容の目視確認が容易
• 16進表記での詳細なログやSECS-Iヘッダ、HSMSヘッダも表示

主な特徴

• 直感的に使用できるSECSシミュレータ
  SECSメッセージ定義からデバッグ・テストまで直感的に利用可能
  ・SEMI-E5の標準SECSメッセージを内包しており、容易に定義
  ・メッセージの自動応答で簡単な設定後すぐにデバッグ、テストを開始
  
• 装置シミュレータやホストシミュレータとして
  SECS-IとHSMS-SSに対応しており装置またはホストの代わりとして活用
  ・装置サプライヤはホストシミュレータとして活用
  ・デバイスメーカは装置シミュレータまたは装置受入テストとして利用
• 複雑な通信シナリオのデバッグ・テスト     
  スクリプト言語により複雑な通信シーケンスのシミュレートも可能
  ・単純な自動応答はノンプログラミングで標準装備
   ・キャリア仕掛りシナリオなど一連の通信シナリオをシミュレート可能

その他のGEM300/GEM/SECS/HSMSソフトウェア

・SECSIM Pro+の他、SECS通信テスト用ソフトウェア

• PFAT™：SECS通信テストツール
• CCS Envoy™：GEM300、GEM通信テストツール
  

・半導体装置用ソフトウェア

• SDR™：SECS、HSMS通信対応
• GWGEM®：SECS、HSMS、GEM通信対応
• ConX300™：SECS、HSMS、GEM300通信対応
• EIB™：SECS、HSMS、GEM300、Interface-A通信対応
• PTO™：装置統合制御システム
  

優れた操作性と視認性
機能ごとに分かりやすく分類された複数のサブ画面によるユーザインターフェースを採用し、SECSメッセージの定義から通信ログの表示まで、優れた操作性と視認性を実現しています。

SECS-IとHSMSの両方をサポート
SECS-IとHSMS両方のインターフェースをサポートしており容易に切替えができます。

SECS-Iレベルでの通信エラーテスト
SECS-Iレベルでの多彩な通信エラーテストを実現しています。ハンドシェークコードのエラーケースから各種タイムアウトまで、SECS-Iで想定されるエラーをシミュレートできます。

強力なスクリプト言語により複雑な通信シナリオから自動テストまでを実現
SECSIM Pro+は標準で自動送受信機能を備えており、SECS通信ソフトウェアのデバッグ作業を強力にサポートします。またスクリプト言語を設定することにより、あらゆるデバッグ、テストの実行ができます。

• SECS対応の複数ロードポートを同時接続（複数ポートのシミュレート機能）
• 応答がエラーなら警告表示（受信メッセージのアイテム値判定や処理分岐機能）
• 受信メッセージに応じて応答メッセージを変更（受信メッセージのアイテム値判定機能）
• マニュアル入力で送信値をリアルタイムに入力（インタラクティブ機能）
• ラッシュテストや繰り返しテスト（処理分岐機能）
• ファイルを読取り、装置のレシピデータなどに使用（ファイルアクセス機能）
• 受信したデータの一部や全部をディスクファイルとして保存（ファイルアクセス機能）
• 現在時刻やファイル名をSECSデータとして送信（時刻取得、ディスクアクセス機能）
  
  上記の活用シーンは一例であり、アイデア次第でさまざまなデバッグの効率化、テストの実現が可能です。

システム構成
SECSIM Pro+をインストールしたPCを、テスト対象装置とEthernet（HSMS-SSとSECS-IIの場合）、あるいはRS-232C（SECS-IとSECS-IIの場合）で接続して使用します。
SML（SECS Message Language、SECSメッセージ言語）、SSL（SECS Script Language、SECSスクリプト言語）という2つのファイルをもとに動作させ、SMLとSSLを駆使することで、複雑な通信シナリオのデバッグやテストを実現できます。

• SMLファイル
  SEMIスタンダードでも推奨されているSMLフォーマットに則った形式で固定のメッセージを作成し、画面から簡単に送信可能
  
• SSLファイル
  スクリプトをもとに2次メッセージの自動応答や1次メッセージの送信、通信のシナリオだけでなく、ファイル操作用の関数やActiveXによるWindowsプログラムとのやり取りを実現

日本国内で1,000セット以上、世界中で数千セットの販売実績がある、業界標準テストツールと言えるSECSIM Pro+を活用いただくことで、デバッグやテストの効率化を実現し、プロトコルレベルの通信を保証し、またテストで使用した通信ログファイル（SMLファイル）が検証記録として使用できます。

装置サプライヤの導入メリット

・オンラインソフト部門

• 標準で搭載されている豊富なSML・SSLを活用することで短時間に確実な仮想ホストシステムをシミュレートしデバッグやテストができます。

・品質管理部門

• 出荷前テストとして装置の通信仕様書に合わせた自動テストスクリプトを作り込むことで、簡単にオンライン機能のテストや評価ができます。

デバイスメーカーの導入メリット

・オンラインソフト部門

• 標準で搭載されている豊富なSML・SSLを活用することで短時間に確実な仮想装置システムをシミュレートしテストできます。
• 装置導入前にデバイスメーカーの仮想ホストシステムとして使用することで、プロトコルレベルの接続確認だけでなく、SML・HEX形式でのログ機能を搭載していますので、テストしているその場でフォーマットなどの問題点を確認できます。
• 通信ログはファイルとしても保存できますのでログファイルがそのままテストした検証記録となります。

・装置受入部門

• 装置サプライヤーへの要求仕様書に合わせた自動テストスクリプトを作り込むことで、簡単に受け入れ装置の品質評価を行えます。

装置サプライヤー、半導体製造工場で1,000を超える導入実績

• SECSIM Pro+が出力する通信ログは装置テスト結果として認知
• 装置の受入テスト時にホストシミュレータとして使用された実績

テスト・インターフェースであるCCS Envoyと、SEMI規格のバージョンに合わせたテスト計画フレームワークであるCCS Testで、標準化されたテストを実施できます。わかりやすく、シンプルな操作性、視認性の高いテスト結果と通信ログで円滑に行うことができます。 

ISMIテストプロトコル     
ISMIにてGEM300テストプロトコルとして紹介される唯一の製品

• GEM300の各スタンダードに準拠し標準装置受入テストとして認知
• ISMIのシナリオテストをサポート
  
  

ディグレーションテスト
各スタンダードの各バージョンのテストを効率的に実施

• 既存スタンダード機能のディグレーション確認を実施可能
• 装置に追加・変更した部分の準拠テストも実施可能
  
  

固定化されたテストシナリオ
スタンダードごとに装置のSEMI規格準拠状態を客観的に評価

• 装置の詳細情報を登録するだけで客観的にPass/Failの判定
• 各シナリオ・規格に準拠した独自の連続テストも実施可能
  
  

テスト担当のスキルに左右されない安定的なテスト
目視確認によるテスト結果評価と比べ安定的な評価

• オンライン通信のスキルやノウハウを必要とせずテストを実行
• 優れたエンジニアを退屈なテスト作業から解放
  

• すぐに使えるパッケージソフトウェア
  テスト・インターフェースCCS Envoyとテスト計画フレームワーク CCS Testとの組合せによりインストール後、装置データを定義するだけでSECS-IとHSMS両方のインターフェースのテストを実施できます。
  
  
• 最新のSEMI規格に準拠したテスト計画フレームワーク
  各SEMIスタンダードのバージョンに合わせたテスト計画フレームワークを提供します。装置の仕様にあわせた装置テストデータ・結果期待値を設定することで、スタンダードの適合性を確認できます。 
  
  対応 SEMIスタンダード
  ・E4 SECS-I
  ・E5 SECS-II
  ・E23 Parallel I/O Unit Test
  ・E30 GEM
  ・E37.1 HSMS-SS
  ・E84 Enhanced Parallel I/O Unit Test
  ・E87 Carrier Management
  ・E90 Substrate Tracking
  ・E40 Process Job
  ・E94 Control Job
  
  
• ユーザによるSECS-IIメッセージ作成可能
  装置固有のSECS－II メッセージを作成し任意のタイミングで送信できます。簡易なSECS-IIメッセージ通信テストツールとしても使用できます。
  
  
• HSMS通信シミュレート機能
  HSMS-SSのコントロールメッセージを任意のタイミングで送信できます。簡易なHSMS通信テストツールとしても使用できます。
  
  
• システム構成
  CCS Envoy CCS Testの動作するPCをテストしたい装置とRS-232C（SECS-IとSECS-IIの場合）あるいはEthernet（HSMS-SSとSECS-IIの場合）で接続します。装置データや工場データを元にインストールしたテスト計画フレームワークにあわせてテストを実施できます。また任意のSECS-IIメッセージやHSMSのコントロールメッセージを任意のタイミングで送信可能ですので装置固有のテストも行えます。
  わかりやすい操作、視認性の高いテスト結果と通信ログでテストを円滑に行うことができます。
  
  ・すぐに使えるパッケージソフトウェア
  ・最新のSEMI規格に準拠したテスト計画フレームワーク
  ・ユーザによるSECS-IIメッセージ作成可能
  ・ HSMS通信シミュレート機能
  ・保護されたテスト結果管理（データベース）

CCS Envoy・CCS Testの標準化されたデータ管理機能により、3つの導入効果があります。

1. 仕様確認・説明工数の削減
2. SEMI規格準拠テストの効率UP
3. テスト内容・結果の管理工数の削減

• SEMIスタンダードにあわせたテスト計画フレームワークを使用することで半導体製造メーカと装置メーカでの工場自動化インターフェースのテストが標準化され、装置設定やログにより仕様確認ができ仕様の説明や確認の工数が削減できます。
• CCS Envoyのわかりやすい操作により、テストの時間を短縮できます。
• CCS Envoyの自動化可能なテストと視認性の高いテスト結果のデータベース化により、テスト結果の確認・検証の時間を削減できます。
• CCS Testの標準化されたテスト計画フレームワークにより、通信テストの開発コストとテスト環境維持のための保守コストを削減できます。
  
  
  

SECS-I、II、HSMS対応
SDRはSECS・HSMS規格で規定されている通信プロトコル処理や各種タイムアウト処理を自動的に行います。これにより通信相手とのSECS-IIフォーマットの開発に集中でき、開発やテスト期間を削減できます。また詳細なマニュアルと技術サポートスタッフのタイムリーな支援によって、メンテナンスコストを削減します。

容易な使用方法
経験の浅いC言語プログラマーでも、サンプルプログラムと導入トレーニングによって簡単にプログラミングができます。また、詳細なマニュアルが提供されます。

複数の通信ポートに対応
SDRは、最大64のSECSリンクを持つことができます。SDRは、ブロックコントローラーとして1つのSECSラインに複数のSECSデバイスIDをサポートします。
SDRは、正確にSECSをサポートし、最適な構造でSECSメッセージを出力するため、SECSインターフェースに特別な考慮をする必要は一切ありません。

容易な移植性
SDRは全てのプラットフォームにおいて、同一のアプリケーション・インターフェースを採用しています。SECSアプリケーションを新しくより強力なプラットフォームへ容易に移植できるので、開発したソフトウェアへの投資が無駄になりません。

システム構成の特徴
シンプルなC言語関数コールによってSECS・HSMS通信インターフェースを構築できます。

導入効果

• ホスト、装置問わずワールドワイドで導入されており、信頼性、安定性のある通信インターフェースを短期間で実装できます。
• SDRは、ランタイム・ライブラリ・ソフトウェアとして提供され、追加のハードウェアを必要とせずSEMI規格に準拠したインターフェースを構築できます。
• 装置メーカー場合、動作制約が少なく、特殊な環境を必要としませんのでボードコンピューターなどの低スペックマシーンでも十分な通信機能を発揮します。また、古いSEMI規格に合わせた機能もサポート、ほとんどのホストシステムと接続できます。
  
• デバイスメーカーの場合、特殊な環境を必要とせず、同時に複数の装置と接続する事ができるため、容易にいろいろな環境に合わせたホストシステムを構築できます。

実績

• 世界の半導体装置サプライヤ トップ15社（※）のうち、14社がSDRを使用 
• トップ15社にランクインした日本の装置サプライヤ6社中、5社がSDRを使用
• 日本製半導体装置の260種以上に導入、18,000台を超える出荷実績
•  SDRを導入している主な装置 ( 日本製装置 )
  マスク製造、薄膜形成、CVD、PVD、CMP、チップマウンタ、洗浄装置、光学顕微鏡、電子顕微鏡、ステッパー、EB直描、X線検査、エッチャー、アッシャー、ICテスタ、SEM、平面研削盤、レジスト塗布、インプラ、スライサー、めっき、ダイサー、ハンドラ、プローバー、裏面研削盤、スピナー、レーザマーカー、キャリア搬送機、ボンダー、スピナー、ポリッシャー、マスク検査装置

※VLSI Research Inc.社発表 “2011 Top Semiconductor Equipment Suppliers”

規格への準拠
GWGEMは、GEM規格で要求されている基本条件、追加性能条件に対応しています。SECS通信ドライバーとして信頼の高いSDR™（SECSドライバーソフトウェア）をSECS通信部分に使用していますので、SECS-I/SECS-IIか HSMS-SS/SECS-IIのインターフェースをホストシステムに合わせて選択でき、容易にプロトコル変更が可能です。

GEMバージョン
最新版のSEMI規格をサポートしています。全てのGEM基本機能と、全てのGEM追加機能をサポート可能です。

GEMとNon-GEM
ホストシステムによっては、旧バージョンのGEM規格またはNon-GEMを必要とするホストシステムを使用しています。GWGEMは、GEM/Non-GEM両方のホストシステムに対応しており、どちらのタイプのインターフェースも構築することができます。

GEMを2～3ヵ月で構築

• GWGEMは、GEMの約90%を自動的に処理します。
• FULL GEM準拠（GEM規格の基本条件、追加性能条件を実装）の装置インターフェースの構築は、GWGEMを使って簡単にプログラミングができます。
• サンプルプログラムと導入トレーニングによってスムーズに開発をスタートできます。
• 専用設定画面が不要なテキストベースでのGEM設定管理が可能です。
• GWGEMが提供するAPI関数を適宜呼び出ししていくだけで、SECS-II通信をほとんど意識することなくGEMで要求されている複雑で多岐にわたるメッセージ・フォーマット、シナリオを容易に実装できます。
• 多数のプラットフォーム上で動作します。各プラットフォームのGWGEMはほぼ同様のAPIを用意していますので、アプリケーションを別のプラットフォームに容易に移植できます。

システム構成の特徴

簡単な関数コールによってFULL GEM準拠（GEM規格の基本条件、追加性能条件を実装）の装置インターフェースを構築することができます。

• すぐに使えるパッケージ・ソフトウェア
• 専用設定画面が不要なテキストベースでのGEM設定管理
• Non-GEM機能の柔軟な対応

導入効果

• 既に製造装置、検査装置、搬送装置等主要な多くの装置で採用されていますので、信頼性、安定性のあるGEM準拠通信インターフェースを構築できます。
• GEM/SECSの規格を知らなくても、GWGEM導入時のトレーニングにてGEM準拠のインターフェースを実装できます。
• 装置に組み込むランタイム・ライブラリ・ソフトウェアとして提供され、追加のハードウェアを必要とせず、SEMI規格に準拠したインターフェースを構築できます。
  

実績

• 世界の半導体装置サプライヤ トップ15社（※）のうち、14社がSDRを使用 
• トップ15社にランクインした日本の装置サプライヤー6社中、5社がSDRを使用
• 日本製半導体装置の100種以上に採用され10,000台を超える出荷実績
•  SDRを導入している主な装置 ( 日本製装置 )
  チップマウンタ、洗浄装置、CVD、PVD、CMP、光学顕微鏡、電子顕微鏡、ステッパー、EB直描、X線検査、エッチャー、アッシャー、ICテスタ、SEM、平面研削盤、レジスト塗布、インプラ、スライサー、めっき、ダイサー、ハンドラ、プローバー、裏面研削盤、スピナー、レーザマーカー、キャリア搬送機、マスク製造、薄膜形成、ボンダー 

※VLSI Research Inc.社発表 “2011 Top Semiconductor Equipment Suppliers”

既存のホストシステムとの高い互換性と安定性を実現
さまざまなホストや装置で利用されている、SDR™とGWGEM®を使用してGEM300対応インターフェースに不可欠な既存のホストシステムとの高い互換性と安定性を実現します。1年間に数回改訂されるSEMI規格で、要求される機能を忠実にパッケージ化し、高い品質で最新のSEMI規格を容易にサポートできます。
300mmウェハを取り扱う半導体工場で要求されるSEMI規格に対して、ConX300は次のように対応してます。

• E4, E5, E30 SECS とGEM
  SECS/GEM機能をサポート。SECS-I/SECS-II/HSMS-SSはもちろん、GEMの基本条件および追加性能もすべて対応
  
  
• E37, E37.1 HSMS-SS
  最新の半導体工場では、SECS-Iより高速なデータ通信を実現するためにHSMS-SSの実装が必要とされ、ConX300は、SEMI E37およびSEMI E37.1 （High-Speed SECS Message Service）に対応
  
  
• E87 キャリアマネージメント
  キャリアオブジェクトの登録からCarrier ID State、Slot Map State、Accessing State 等のステートモデルの管理を行い、E87を実現するために必要なイベントレポート、アラーム通知機能を提供
  
  
• E40 プロセスジョブ
  E40で定義されるプロセスジョブの登録、およびステートモデルの管理を実行
  
  
• E90 サブストレート・トラッキング
  E90で定義されるSubstrateオブジェクト、Substrate Locationオブジェクトおよび関連するステートモデルの管理を実行
  
  
• E94コントロールジョブ
  コントロールジョブの登録、ステートモデルやキュー管理を行い、300mm関連のSEMI規格で要求されるE39、E40等の関連機能もサポート
  
  
• 各規格とのリンク
  SEMI E30、E39、E40、E87、E90、E94の規格にまたがるデータ、オブジェクトやシナリオを自動的に処理

導入効果

• ワールドワイドの装置メーカー様に導入されており、さまざまなホストシステムと接続することができます。
• GEM/SECS/GEM300のSEMI規格を知らなくても、ConX300導入時のトレーニングにて300mm工場で要求されている装置インターフェースを実装できます。
• SEMI規格に合わせた改訂もConX300のバージョンアップと多少のアプリケーションの変更で最新SEMI規格に準拠できます。
• デバイスメーカーの特殊仕様や装置メーカー様の特殊仕様に関しても順次対応しております。
• 装置に組み込むランタイム・ライブラリ・ソフトウェアとして提供され、追加のハードウェアを必要とせずSEMI規格に準拠したインターフェースを構築できます。
  

実績

• 世界の半導体装置サプライヤートップ15社（※）のうち、9社がConX300を採用
• 上記15社にランクインした日本の装置サプライヤー6社中、4社がConX300を採用
• 日本製半導体装置の20種以上に採用され、3,000台を超える出荷実績
•  ConX300を導入している主な装置 ( 日本製装置 )
  メッキ、X線検査装置、光学顕微鏡、CMP、アッシャー、走査型顕微鏡、スピナー、ポリッシャー、ダイサー、エッチャー、搬送機、インプラ、マスク検査装置、ステッパー、ボンダー
  
  ※VLSI Research Inc.社発表 “2011 Top Semiconductor Equipment Suppliers”

PEER社 次世代通信基盤ソフト     
GWGEM、ConX開発で培ったノウハウを元に開発されたソフトウェアです。

•  PEER社の次世代通信基盤ソフトウェアとして開発
• 従来製品で未対応の規格(PV2)、64bit環境へ対応
  
  

GEM/SECS/GEM300規格対応     
SECS/GEM, GEM300に関連するSEMI規格に対応するソフトウェアです。

• E4, E5, E30, E37, E39, E40, E87, E90, E94

EDA関連SEMI規格対応     
EDAに関連する各種のSEMI規格に対応するソフトウェアです。

• E120, E121, E125, E128, E132, E134

OPC, .NET, COMなど多様なプロトコル対応     
装置やサードベンダーデバイスとの接続は多様なプロトコルが利用可能です。

• 使い慣れたプロトコルによる開発が可能
• 各プロトコルに対応したサンプルが付属

.NET Framework対応     
Microsoft .NET Frameworkを使用して構築します。

• NETの開発環境でC#で開発

マルチコネクション対応     
複数の通信先(ホスト、ECS、EDA Client)との接続をサポート

• 装置内通信システムを統合するインターフェースの開発が可能
  

SEMI規格へのインターフェースを提供

• SECS/GEM, GEM300 SEMI規格対応
  GEM規格ならびにGEM300と呼ばれる300mm半導体工場で必要な各SEMI規格で必要とされるメッセージフォーマットやシナリオを認識しており、それぞれの規格に対応したライブラリを提供します。開発者はライブラリ内の装置データセット用関数、イベント通知関数などを使用することで、SECS/GEM、GEM300に沿った通信プロトコルの実装を容易に行うことが可能です。
  対応SEMI規格： E4, E5, E30, E37, E39, E40, E87, E90, E94
  
  
• EDA関連 SEMI規格対応
  次世代の半導体工場を建設するデバイスメーカでは、半導体生産性向上のためより先進的かつオープンなデータ収集仕様：SEMI規格の実装を装置ベンダーに求めています。EIBは、以下にあげるSEMI規格に対応するソフトウェアです。
  
  ・E120 Common Equipment Model
  ・E121 XML Style & Usage Guide Lines
  ・E125 Equipment Self Description
  ・E128 XML Message Structure
  ・E132 Authentification and Authorization
  ・E134 Data Collection management
  
  XML/SOAPメッセージ交換処理やデータコレクションプランのアップロード・ダウンロード、クライアント認証処理、ACL(AccessControlList、アクセス制御リスト)管理などは全てEIBが行います。装置アプリケーションは装置データセット、イベント通知処理などに専念することが出来ます。
  また、マルチクライアントをサポートしています。同時に複数EDAコンシューマ(消費者)からのデータ収集要求に対応しており、装置アプリケーションはこれらを意識する必要は有りません。
  
  

OPC、COM、.NET通信プロトコルへのインターフェースを提供
OPC、Microsoft COM/DCOM、Microsoft .NETなどの各種プロトコルで装置や周辺デバイスと接続できます。各プロトコルでEIBと接続するアプリケーションのサンプルを用意していますので、具体的な実装例を見ながら通信プロトコルへの対応が可能です。

.NET Framework開発環境に対応
Microsoft .NET Framework開発環境をサポートしています。開発者は慣れ親しんだ開発環境で開発を行うことが可能です。

マルチコネクションに対応
複数ホスト、ECS、EDA Clientとの接続をサポートしています。複数装置インターフェースを単一SECS/GEMインターフェースへ統合する、複数データソースを単一EDAインターフェースに統合するなど、通信システムの統合が可能です。

運用・開発支援用に豊富なユーティリティを提供

• EIB Model Builder
  CEM/ESD(E120/E125)に準拠した装置モデルを容易に構築・メンテナンスできます。また、GEM/GEM300/EDA通信仕様の設定も本ユーティリティで行います。値の設定漏れ・重複などのエラーチェック機能を備えており、開発負荷の軽減に寄与します。
  
  
• EIB Explorer
  動作中のEIBが持つ様々なオブジェクト情報をリアルタイムに参照することができます。（EDAメタデータ、GEM/GEM300の各種SV、ECデータなど）オブジェクト情報の書き換えも可能であり、デバッグツールとして活用が可能です。
  
  
• EDA Pro Client
  装置インターフェースのデバックやテストが容易に実施できます。
  
  
• Log Viewer
  リアルタイムにログを参照することが出来ます。ログ情報をフィルタリングし表示する情報を絞り込んだり、マルチウインドウにより複数のログファイルを同時に参照することが出来ますので、トラブル解析時に役立ちます。
   

システム構成
EIBは装置や周辺デバイスとホストシステムや複数のEDAクライアントとの間を橋渡しします。システムの構成には、装置アプリケーションとの間を.NET RemotingやCOM、あるいはSECS/GEMのプロトコルを介してなど、各種のプロトコルを介して接続できます。OPCサーバを介してPLCへの接続にも対応しています。
ホストに対するSECS/GEMによる接続はもちろんのこと、EDAによるクライアント接続、.NET Remotingや独自のプロトコルを利用するカスタムクライアントとの接続も可能です。

• 開発期間の短縮と工数の削減
  Interface-AあるいはGEM/SECS/GEM300に関する多くのSEMI規格を知らなくても、EIB製品導入時のトレーニングや製品の利用により、Interface-A準拠あるいは、GEM/SECS/GEM300準拠の装置インターフェースを短期間で実装できます。
  
  
• 最新規格の対応が容易に実現
  SEMI規格に合わせた改訂もソフトウェアの入れ替えと多少のアプリケーションの変更で対応できますので、容易に最新SEMI規格に準拠できます。
  
  
• 豊富なユーティリティーによる効率的なメンテナンス
  実装からテスト、メンテナンスに至るまでに必要となる様々なユーティリティーがセットされています。各種プロトコルに対応したサンプルも用意されていますので、アプリケーションを容易に構築できます。

PTOによる装置制御システムの構築
PTOは、実行環境で動作する本体プログラム、および画面プログラムがあります。これらプログラムに対し、実現させたい部品を選択し、また各部品に与える動作パラメータの設定を設定ユーティリティー「PTC」で指定します。

設定ユーティリティー「PTC」による機能部品選択と、動作パラメータの設定
設定ユーティリティ「PTC」を使用し、実現させたい部品の選択と、選択した部品に与える動作パラメータの 設定を行います。 

設定ユーティリティー「PTC」によるハードウェア構成の設定
装置が実装しているハードウェア構成に合わせて、PTCでハードウェア設定を行います。PTOが標準で用意していないハードウェアも、仕様をご提示いただくことで実装が可能です。

PTOの主な機能部品
下記の他、独自に部品をプログラム開発し、PTO標準部品の置き換えや拡張が可能な構成になっています。 

• HMI画面を構成する部品群
  ログイン認証、Job生成、各種ステータス表示、アラーム表示/解除、レシピ一覧表示/選択、チャート表示、シグナルタワー点灯状況、スロットマップ表示、ロードポート状態、ホスト通信状態、企業ロゴ、履歴表示、設定パラメータ表示/編集など
• 仕掛り品処理のための部品群
  キャリア仕掛り制御、スロットマップ読み取り、ジョブ(PJ/CJ)生成と実行、ウェハ搬入出ディスパッチ、レシピ選択/レシピパラメータ編集、真空装置制御(スロットバルブ開閉やベント)、全ウェハ払出し制御 など
• ハードウェア制御のための部品群
  各種ハードウェアメーカーのロードポート、EFEM、ロボット、ドアコントローラ、アライナー、ライトタワー、LoadLock、ウェハリーダー、ファン、ポンプ、ゲージ、MFC、バルブ、タグリーダー などの制御用ドライバ、およびPLCアクセスの為のOPCインターフェース
• ホスト通信のための部品群
  SECS、GEM、GEM300、EDA、200mmShimアダプタ など

システム構成
PTO本体プログラム、GUIプログラム、ホスト通信用プログラムはそれぞれMicrosoft® Windows®が動作するPCで稼働します。GUIプログラムを別のWindows PCで稼動させることもできます。 

装置製作期間の短縮
装置内のさまざまなソフトウェアシステムが連携して動作する必要があります。 これらをスクラッチで設計・開発すると膨大な時間とコストがかかるほか、装置リリース時期の遅延や、納入後のトラブル対応に悩まされることになります。
いち早く高品質な完成品装置を市場に投入し、開発コストを回収するために、PTOの適用が効果的です。 スクラッチ開発時と比較し、装置製作期間の短縮が図れ、かつメンテナンス性の向上に寄与します。

多様なニーズに柔軟に対応
国内海外を問わず、エンドユーザの様々なニーズに対応するため、装置リリースごとの個別対応が求められます。また市場における競争力向上のため、常に装置の機能改善に取り組むことも重要です。
一方で、度重なる個別対応やシステム改造によりシステムは複雑化し、個別対応によるリリース管理も煩雑になってしまいます。
PTOは、デバイスメーカ固有の要求に対応するための設定項目など、エンドユーザごとに異なる個別対応用の設定を用意しています。60機種以上の装置に実装され、多くのエンドユーザ工場で稼動するPTOを適用することにより、エンドユーザごとの個別対応も安心です。

メンテナンス性と流用性の向上
装置内のシステムは、たび重なる場当たり的な機能追加や改造などによって巨大化、複雑化し、もはや流用や改造ができなくなってしまう場合があります。
PTOでは、装置内のさまざまなソフトウェアシステムをフレームワーク上で一元管理し、機能追加やカスタマイズソフトもビジュアルに管理可能、新機種開発時における旧装置のシステム流用も容易です。
また、PTOの”Deployment”コンセプトにより、装置リリースごとの機能や設定を個別に維持管理ができ、いつでも個別先の仕様や設定を呼び出して機能追加やオプション部品の取り付けなどを実施できます。 

チャート表示
装置操作画面(HMI)作成時の構成部品として、チャート表示機能がサポートされました。処理室内の圧力や温度といった装置内の各種データをプログラムレスでチャート表示することができます。
一画面に複数チャートが表示できるほか、1つのチャートに複数のデータを重ねることもできます。画面作成ユーティリティーを使用して、チャート表示したいデータを一覧から選択し、サンプリング周期や線の カラーなどを設定のうえ、装置操作画面(HMI)の任意の位置にレイアウトします。

200mm Shimアダプタ
300mmウェハ対応装置向けにGEMホスト対応のためのアダプタが用意されました。
300mmウェハ対応装置は、ホストインターフェースもSEMI 300mm規格群(GEM300)を実装することが一般的ですが、装置納入先のホストシステムが200mm規格(GEM)のみ対応の場合、200mm規格に合わせるためのカスタマイズが必要でした。
200mm Shimアダプタによって、300mmウェハ対応装置でも200mm規格(GEM)通信にダウングレードすることができます。

DCP (DataCollectionPlan) エディタ
従来のDCPエディタは、CEMモデルの一部として定義する形態であったため、ハードウェア構成を変更するごとにデータ・ソースが変わり、DCPの設定を見直す必要がありました。
V6.1ではDCPエディタが独立し、装置シリーズごと、エンドユーザごと、試作機用など、ハードウェア構成の変更や装置リリースに応じて、設定したDCPを取捨選択出来るようになりました。

その他の改訂

• VCE(Vacuum Cassette Elevator)に対応
• 装置起動時のハードウェアチェック完了を待たずにホスト通信を開始可能とする機能を追加
• 障害発生時における装置内滞留ウェハ払出し画面を刷新
• ModBusプロトコルに対応
• 実ハードウェアを使用せずシステムの動作確認を行うためのSimulationモードを用意
• ログファイルのファイル数上限を設定できるよう改善
• ロボットのアニメーション改善
• アラーム一覧画面にフィルタリング機能と全アラーム一括クリア機能が追加
• その他、軽微な機能追加・改善
• 不具合修正