IndustryView for Semiconductor Standard(SiView Standard)を使用して、世界的な半導体製造を最新化し、よりインテリジェントで先進的なものにしましょう
IndustryView for Semi-Conductor Standard(SiView Standard)を使用して半導体製造を変革およびモダナイズし、高度な拡張性と統合を実現します。
製造実行システム(MES)とプロセスを変革し、統一されたシステムを通じてサプライチェーン管理を改善します。
SiView Standardは、完全自動化された枚葉管理で競争力を提供し、キャリア内の複数ロットを処理するラインを構築することができます。
SiView Standardは、製造プロセスをサポートするために、戦略的ソーシング、コラボレーション、企業資源計画を改善します。
スケールメリットを活用し、より緊密なサプライチェーンと製造の連携で市場の変化に迅速に対応します。
MMには400を超える豊富なビジネス・ロジック要素が組み込まれており、WIP、製品、ジョブ、プロセスをリアルタイムで制御および追跡しながら、ウェーハ、ロット、FOUP、および装置内のオブジェクトを管理します。完全オフラインの手動から完全自動の大容量生産まで、16の運用モードをサポートします。
SaRを使用すると、ユーザーは既存システム内のビジネス・イベントを検知するためのワークフローを作成できます(例:MM)により、ビジネス・ルールを実行し、参考情報にリアルタイムで対応することで、製造の稼働率と効率を向上させます。
APCを使用すると、工学、科学、経済の担当者がプロセス制御モデルに迅速かつ効果的に取り組むことができ、MM/DCSと事前に統合され、ビジネス・ロジックの実装用にJava/BPELをサポートし、外部で開発された数学モデル(例:MATLAB)をライブラリとして調整できます。
HASは、CorbaServerプロセス(例:MMサーバー)のクラスターをサポートし、プロセスの障害を自動的に検知して回復し、拡張の柔軟性を提供します。HAS構成では、実稼働活動に影響を与えることなく、修正や拡張のためのアプリケーションの変更を適用できます。
tMSPは、機器とMESの間の通信を制御する製造ツール制御アプリケーション向けのSiView標準製品です。イベント駆動型でサービス指向のマルチスレッド・ロジック・エンジン上で実行され、プラグインを使用してビジネス・ロジックをサポートし、多くの一般的な通信プロトコルをサポートする、すぐに使用できるモジュール・コレクションを提供します。
PDSは、半導体工場内の詳細なロットの移動、ツールの使用状況、および進行中のロットのスナップショットを予測するための離散イベント・シミュレーターです。SiView Standardは、生産能力計画、WIPバランス、スループット向上、リードタイム短縮など、工場運営の継続的改善における意思決定に必要な情報を提供する、すぐに使える高速シミュレーション機能を備えています。
RTDはSiView MESと事前に統合されており、工場内の刻々と変化する状況に対応してインテリジェントな意思決定エクスペリエンスを提供します。ブラウザベースのドラッグ・アンド・ドロップルール・エディターを通じて提供されるRTDを使用すると、ユーザーはプログラミング・スキルがほとんどなく、ビジネス/オペレーションルールを作成および定義できます。
SPCは、プロセス設備のデータ傾向をリアルタイムに監視することで欠陥の発生を予測し、歩留まりを向上させるのに役立ちます。
SMは、オペレーションを作成・定義するためのビルドタイム仕様管理機能を提供します。SEMATECH CIMフレームワークに基づいて、70以上のクラスをサポートし、柔軟なバージョン管理、アクセス管理、およびアーカイブ・ソリューションを備えた半導体製造シナリオを作成および定義します。
XM(FOUP搬送)およびRXM(レチクル搬送)では、製造現場でFOUPとレチクル搬送を管理するためのMTSCインターフェースを提供します。これらは、SEMI Equipment Communication Standard (SECS)、High-Speed SECS Message Service(HSMS)、およびGeneric Model for Communications and Control of manufacturing Equipment(GEM)をサポートします。